八十年代后期國內(nèi)開始研發(fā)微波真空干燥設(shè)備，通過多年的努力，到 2000 年前后，成功的解決了低氣壓微波場起弧放電，鋪料層之間加熱溫差，微波場內(nèi)非接觸測溫等多項難題，從實驗階段跨入工業(yè)化生產(chǎn)階段。為食品工程、制藥工程、生物工程、化工工程、材料工程以及農(nóng)副產(chǎn)品深加工提供了一種新型、高效的干燥設(shè)備。
微波真空干燥的特點：
　　高效： 常規(guī)的真空干燥設(shè)備中，（假定真空壓力為 7.37kpa ，物料脫水溫度為 40 ℃， 1kg 水汽化熱是 574 大卡），由于在真空場合下，熱量通過對流傳遞^困難，只能傳導(dǎo)進行，加熱速度慢，干燥周期長，能耗大。微波真空干燥設(shè)備采用的是輻射傳能，是介質(zhì)整體加熱，無需其它傳熱媒介，避免了上述缺點，所以速度快，效率高，干燥周期大大縮短，能耗降低。與常規(guī)干燥技術(shù)相比可提高工效四倍以上。
　　加熱均勻： 由于微波加熱是物料里外同時加熱，物料的里外溫差小，不會產(chǎn)生常規(guī)加熱中出現(xiàn)的里外加熱不一致的狀況，而使干燥質(zhì)量大大提高。 易控： 便于連續(xù)生產(chǎn)及實現(xiàn)自動化，由于微波功率可快速調(diào)整及無慣性的特點，易于及時控制，便于工藝參數(shù)的調(diào)整和確定。
　　設(shè)備體積小，安裝維修方便：
　　產(chǎn)品質(zhì)量好： 與常規(guī)方法相比，所加工的產(chǎn)品質(zhì)量有較大幅度的提高。
此外微波設(shè)備具有消毒、殺菌之功效，產(chǎn)品安全衛(wèi)生。保質(zhì)期可延長。
從以上介紹的特點中，節(jié)能、降耗、提高產(chǎn)品質(zhì)量、安全衛(wèi)生、設(shè)備投資成本低等諸方面即可看出其經(jīng)濟效益和社會效益的顯著。在脫水蔬菜加工中，對各種干燥設(shè)備的工藝性能，經(jīng)濟效益，產(chǎn)品質(zhì)量等比較結(jié)果如表。

項目
微波真空設(shè)備 冷凍干燥設(shè)備　　熱風(fēng)干燥設(shè)備

成品品質(zhì)

維生素等營養(yǎng)成分保存率
85%　　　　　　 95%　　　　　　熱分解、無保存
　　　　
風(fēng)味色觀

基本保存　　　　 全部保存　　　　大幅度變化

復(fù)水性
3 分鐘恢復(fù)　　 3 分鐘恢復(fù)　　　　15 分鐘以上

咀嚼感
完好　　　　　　 差　　　　　　 一般

設(shè)備特征

設(shè)備成本
凍干機的一半　　 昂貴　　　　　　 便宜

運行成本
2-3 元 /kg　　 20 元 /kg　　　　1-1.5 元 /kg

干燥時間
3-4 小時　　　　20 小時　　　　 5-6 小時

其它

占地面積
小　　　　　　　　中　　　　　　　　 大

殺菌作用
無　　　　　　　　無　　　　　　　　 無

微波真空設(shè)備與常規(guī)真空設(shè)備干燥效率比較
型號　　功耗　　 每小時去水量 效率（ kg/kw.h ）

微波真空設(shè)備

　　 25kw　　　　 10kg　　　　0.4
　　
真空設(shè)備
　　 23kw　　　　 2.5kg　　 0.1

經(jīng)比較微波真空干燥設(shè)備的效率為常規(guī)真空設(shè)備的 4 倍，可見微波真空干燥是一項經(jīng)濟效益顯著、推廣價值極高的高新技術(shù)。目前我公司研制的新型工業(yè)化微波真空干燥設(shè)備已通過國家有關(guān)單位的鑒定，從 2kw-100kw 微波真空干燥設(shè)備已形成系列產(chǎn)品。這將為我國國民經(jīng)濟諸多領(lǐng)域及科研部門提供能夠一種現(xiàn)代化的高新技術(shù)干燥設(shè)備。
微波真空干燥設(shè)備是微波能技術(shù)與真空技術(shù)相結(jié)合的一種新型微波能應(yīng)用設(shè)備，它兼?zhèn)淞宋⒉罢婵崭稍锏囊幌盗袃?yōu)點，克服了常規(guī)真空干燥周期長、效率低的缺點，在一般物料干燥過程中，具有干燥產(chǎn)量高、質(zhì)量好、加工成本低等優(yōu)點，微波真空干燥設(shè)備市一項集電子學(xué)、真空學(xué)、機械學(xué)、熱力學(xué)、程控學(xué)等多學(xué)科為一體的高新技術(shù)產(chǎn)品，是對干燥過程中物質(zhì)的物理變化、內(nèi)外熱質(zhì)交換以及真空條件下水分遷移過程的深入研究基礎(chǔ)上的，發(fā)展起來的一項新技術(shù)、新工藝。微波真空干燥設(shè)備由微波發(fā)生器、真空干燥腔、物料旋轉(zhuǎn)盤、真空系統(tǒng)和電子控制系統(tǒng)組成。
工業(yè)生產(chǎn)中，由許多物品是不能在高溫條件下進行干燥處理，如一些藥品、化學(xué)制品、營養(yǎng)食品以及人參、鹿茸等高檔中草藥材，為了保證產(chǎn)品質(zhì)量，其干燥處理必須在低于 100 ℃或室溫的條件下進行，眾所周知氣壓降低，水的沸點降低，如在一個大氣壓（ 101.3 kpa ）下，水的沸點是 100 ℃，而在 0.073 大氣壓下（ 7.37 kpa ）下，水的沸點是 40 ℃。在真空條件下，加熱物體可使物體內(nèi)部水分在無溫升狀態(tài)下蒸發(fā)。由于真空條件下空氣對流傳熱難以進行，只有依靠熱傳導(dǎo)的方式給物料提供熱能。常規(guī)真空干燥方法熱的傳導(dǎo)速度很緩慢、效率低，并且溫度控制難度大，被加熱物料還會產(chǎn)生內(nèi)外溫差。微波加熱是一種輻射加熱，是微波與物體直接發(fā)生作用，使其里外同時被加熱，無須通過對流或傳導(dǎo)來傳遞熱量，所以加熱速度快，干燥效率高，干燥質(zhì)量高。
國外發(fā)達國家如美國、法國、日本八十年代開始進行工業(yè)化微波真空干燥設(shè)備開發(fā)。并在實際應(yīng)用中取得良好的效果。美國加州大學(xué)與某公司合作，用微波真空干燥設(shè)備加工無籽葡萄干，將傳統(tǒng)工藝65℃、24小時熱風(fēng)烘干變?yōu)?0℃、5小時微波真空干燥，產(chǎn)品質(zhì)量大大提高。法國國際微波公司制造的微波真空干燥機（2450MHz、48kw）加工速溶桔粉，產(chǎn)品不僅保持原有的色、香、味、其維生素的保留遠高于噴霧干燥。